合肥科晶 900℃小型RTP爐

產品概述：

OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4" 石英管和真空法蘭， 它是專為半導體或太陽能電池基片（大達3“）的退火而設計，采用10KW紅外燈管加熱升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制，精度為 +/-1°C. 計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線 。

主要特點：

·快速升溫，達50℃/s；快速降溫，大117℃/min。

·超大管徑φ110mm。

·溫度可達900℃。

·法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。

·開門斷電。

合肥科晶 900℃小型RTP爐 基本參數：

·工作溫度：900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(長期)

·升溫速率：室溫~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s

·降溫速率：60℃/min (<200 mtorr)，117℃/min (在一個大氣壓下)

·法蘭：KF-25D型不銹鋼高真空法蘭

·慢降溫速率10℃/min

·加熱區長度：190mm

·控溫精度：+/-1℃(歐陸表型溫控儀表可達0.1℃)

·加熱元件：8根紅外燈管(每根1.5KW，圖1、2、3)

·熱電偶：可插入式的鎧裝熱電偶，進口K型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下

·大功率：12KW(>60A 保險)

·設備電源：AC220V/50HZ 單相

·循環水流量:0.5 m3/h

·標配流量計量程范圍：16-160 ml/min

尺寸：

·760（L）×330（W）×530（H） mm （法蘭關閉）

·1200（L）×330（W）×530（H） mm （法蘭打開）

重量：70Kg

認證：所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。